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旋轉硅靶

  • 所屬分類(lèi):旋轉硅靶
  • 瀏覽次數:1546次
  • 發(fā)布日期:2022/10/21 13:22:35
  • 產(chǎn)品概述

~硅旋轉靶材~

化學(xué)組成:Si(硅)
制作工藝:HPS
密度:2.2g/cm3(>95%)
電阻系數(20°):<1?.㎝
純度:>99.95
旋轉尺寸:4000㎜×9t㎜

雜質(zhì)含量(Unit:ppm)




~Nb2OX旋轉靶材~
化學(xué)組成:Nb2Ox
制作工藝:HPS
密度:4.3g/cm3(>95%)
電阻系數(20°):<0.1?.㎝
純度:>99.95
旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜

雜質(zhì)含量(Unit:ppm)




~鋁旋轉靶材~
化學(xué)組成:AL(鋁)
制作工藝:One-batch forming
密度:2.7g/cm3(>99.99%)
純度:>99.99%
旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜

雜質(zhì)含量(Unit:ppm)




~鉻旋轉靶材~
化學(xué)組成:Cr(鉻)
制作工藝:HPS
密度:6.8g/cm3(>95%)
純度:>99.5
旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜

雜質(zhì)含量(Unit:ppm)




~AZO旋轉靶材~
化學(xué)組成:ZnO.Al2O3(98:2wt%)
制作工藝:HPS
密度:4.3g/cm3(>95%)
純度:>99.95%
電阻系數(20°):<0.0005?.cm
旋轉尺寸:4000㎜×9t㎜
雜質(zhì)含量(Unit:ppm)
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